กรณีโครงการ: หลอดแก้วควอตซ์หน้าแปลนมีความบริสุทธิ์สูงแบบกำหนดเอง

ภาพรวมกรณี

คะแนนความเจ็บปวดของลูกค้าก่อนความร่วมมือ

1. ท่อแก้วบอโรซิลิเกตดั้งเดิมเปลี่ยนรูปที่อุณหภูมิการทำงานสูงกว่า 900°C ทำให้เกิดการรั่วไหลของข้อต่อหน้าแปลนและสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ไม่เสถียร
2. ท่อควอทซ์เชื่อมธรรมดาโดยไม่ต้องอบอ่อน แตกง่ายหลังจากรอบเย็นและร้อนซ้ำๆ ต้นทุนการเปลี่ยนสูง และการสูญเสียเวลาหยุดทำงานของการผลิต
3. ความทนทานต่อมิติของหน้าแปลนที่ไม่สามารถควบคุมได้ การจับคู่กับอุปกรณ์ซีลโลหะของลูกค้าได้ไม่ดี ให้ผลผลิตในการประมวลผลต่ำ
4. วัตถุดิบควอทซ์ที่มีความบริสุทธิ์ต่ำทำให้เกิดการปนเปื้อนของไอออนโลหะ ส่งผลต่อความแม่นยำในการประมวลผลเวเฟอร์

โซลูชันท่อหน้าแปลนควอตซ์แบบกำหนดเองของเรา

1. การเลือกใช้วัสดุ: ใช้ซิลิกาผสมความบริสุทธิ์สูงสังเคราะห์ 99.99% ที่มีปริมาณไฮดรอกซิลต่ำ ไม่มีโลหะเจือปน เข้ากันได้กับกระบวนการทำความสะอาดพิเศษของเซมิคอนดักเตอร์
2. หน้าแปลนเชื่อมร้อนในตัว: หลอมรวมหน้าแปลนควอตซ์ที่ปลายด้านเดียวหรือทั้งสองด้านของตัวท่อ ตะเข็บเชื่อมที่มีความแข็งแรงสูง อบอ่อนเต็มที่เพื่อขจัดความเครียดภายใน ต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว
3. เครื่องจักรกลซีเอ็นซีที่มีความแม่นยำ: เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกที่กำหนดเอง ความหนาของผนัง ความยาวท่อ เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกของหน้าแปลน ตำแหน่งรูโบลต์ และรูรับแสง โดยมีพิกัดความเผื่อที่เข้มงวด ±0.02 มม.
4. การรักษาพื้นผิว: ผนังท่อด้านในและด้านนอกขัดด้วยเปลวไฟ เรียบไม่มีฟอง รอยขีดข่วนหรือรอยแตกขนาดเล็ก การส่งผ่านแสง UV และแสงที่มองเห็นได้ดีเยี่ยม
5. การปรับแต่งโครงสร้าง: รองรับหน้าแปลนเดี่ยว, หน้าแปลนคู่, ก้นโดมปิด, โครงสร้างทนแรงดันสูงผนังหนาตามความต้องการของลูกค้า

การส่งมอบและผลการดำเนินงานจริง

• ไม่มีการรั่วไหลภายใต้สุญญากาศสูงและอุณหภูมิในการทำงานต่อเนื่อง 1150 ℃
• ไม่มีการแตกร้าวหลังจากการทดสอบการหมุนเวียนด้วยความร้อนมากกว่า 100 ครั้ง อายุการใช้งานเพิ่มขึ้นมากกว่า 3 เท่า
• การตกตะกอนเป็นศูนย์สิ่งเจือปนผลผลิตผลิตภัณฑ์เวเฟอร์ดีขึ้น 16%;
• ขนาดหน้าแปลนมาตรฐานเข้ากันได้อย่างลงตัวกับชิ้นส่วนแคลมป์และการซีลที่มีอยู่ของลูกค้า ซึ่งช่วยลดเวลาในการประกอบอุปกรณ์ได้อย่างมาก