แผ่นควอตซ์ทึบแสงเจาะรู: วัสดุฉนวนรังสีความร้อนสะท้อนสูงสำหรับเซมิคอนดักเตอร์-เมีย

ภาพรวมโครงการ

• ลูกค้า: ผู้ผลิตส่วนประกอบของอุปกรณ์ไฟฟ้าไฟฟ้าเกาหลี

• สินค้า: แผ่นกวาร์ซที่เปลือกไม่โปร่งใส (สําหรับการป้องกันรังสีความร้อนในเตาอบ PECVD)

• จําหน่าย: Lianyungang Shengfan Quartz Products Co., Ltd.

• วัสดุ: ควาร์ตซ์ความบริสุทธิ์สูง ไม่โปร่งใส (คล้ายนม/เปล่งแสง)

• คุณสมบัติสําคัญ: ความสะท้อนแสงอินฟราเรด ≥ 85%, ความสามารถในการนําไฟ ≤ 1.4 W/m·°C

• การใช้งาน: แผ่นกันความร้อนสําหรับกราฟิตในเตาหลอดไฟฟ้า PECVD, แผ่นป้องกันรังสีความร้อนสําหรับเตาหลอดกระจายเครื่องปรับปรุงความร้อน

• กระบวนการหลัก: การตัดสายเพชร, การตัดแม่นยํา CNC, การปัดขอบสองด้าน, การทําปลายขอบที่ไม่มีการบด, การเจาะแม่นยํา

จุดเจ็บปวดของลูกค้า

1. การป้องกันความร้อนที่ไม่เพียงพอ ด้วยควอตซ์โปร่งใส

ลูกค้าเคยใช้แผ่นควอตซ์โปร่งใส เป็นเครื่องป้องกันรังสีในเตาหลอด PECVDส่งผลให้ความร้อนเกินถึงผนังภายนอกของเตาอบส่งผลให้การเก่าแก่ของ O-ring, เซนเซอร์และสายลดน้ําที่ระยะนอกเร่งเร่งขึ้น ซึ่งต้องปิดการบํารุงรักษาทุก 4-6 สัปดาห์

2โครงสร้างที่ผสมผสาน นําไปสู่การรั่วไหลของความร้อนและความล้มเหลวทางกล

ผู้จัดจําหน่ายครั้งแรกสามารถผลิตแผ่นควอตซ์ขนาดเล็ก (สูงสุด 300 × 200 มม) เท่านั้น ซึ่งจําเป็นต้องมีชิ้นหลายชิ้นที่จะถูกผสมเข้าด้วยกันสําหรับพื้นที่ป้องกันเตาอบขนาดใหญ่ในอุณหภูมิการทํางานประมาณ 400 °C, การรั่วไหลของรังสีทางความร้อนผ่านช่องว่าง splice ได้ถึงระดับที่ไม่ยอมรับ นอกจากนี้การขยายความร้อนที่ไม่สม่ําเสมอระหว่างส่วนที่ spliced ส่งผลให้การปลดกระชับและการเคลื่อนไหวแผ่นส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพการป้องกัน และบางครั้งส่งผลให้แผ่นหัก.

3ความแม่นยําในการเจาะที่ไม่เพียงพอ ส่งผลให้เกิดความยากลําบากในการติดตั้ง

แต่ละแผ่นป้องกันต้องการหลุมตั้งตําแหน่งหลายหลุมและช่องทางการไหลของอากาศที่มีผนังรูหยาบค่อนข้างจะแตกซึ่งบังคับให้ลูกค้าทํางานใหม่ด้วยมือทุกการจัดส่ง

การแก้ไขและข้อดีที่มีเป้าหมายของเรา

1วัสดุควาตซ์แบบไม่โปร่งระดับพรีเมียมที่มีการสะท้อนความร้อนสูงกว่า

เราเลือกแผ่นควอตซ์แบบไม่โปร่งใสความบริสุทธิ์สูงที่มีไมโครบับบล๊อบที่กระจายกระจายได้อย่างเท่าเทียมกัน (กว้าง 10~100 μm, เนื้อหา ≥ 20%), ประสบความสามารถในการสะท้อนอินฟราเรด ≥ 85% ทั่ว 2ระยะความยาวคลื่น 5 ∼ 16 μmความสามารถในการนําความร้อนเพียง 1.4 W / m · ° C เกินมากกว่าควอตซ์โปร่ง (1.6 ⋅ 1.8 W / m · ° C) โดยป้องกันการถ่ายส่งความร้อนที่รังสีไปยังผนังภายนอกของเตาอบได้อย่างมีประสิทธิภาพคออฟเซียนการขยายความร้อนที่ต่ําในตัวของวัสดุ (5.4×10−7/°C) รับประกันความทนทานต่อการกระแทกทางความร้อนที่ดีเยี่ยม ป้องกันการแตกหรือการล้างแผ่นระหว่างการหมุนเวียนทางความร้อนซ้ํา ๆ

2. โฟเมทขนาดใหญ่ การสร้างชิ้นเดียว การกําจัดช่องว่าง splice

โดยใช้ศูนย์แปรรูป CNC ขนาดใหญ่ของเรา เราสามารถผลิตแผ่นควอตซ์แบบไม่โปร่ง 1 ชิ้น ขนาดสูงถึง 800 × 600 มิลลิเมตร โดยกําจัดช่องว่างในการผสมและปัญหาการรั่วไหลของความร้อนที่เกี่ยวข้องสําหรับรุ่นเตาหลอดต่าง ๆ ของลูกค้า, เราให้บริการสินค้าทั้งหมดของชุดหนึ่งชิ้นจาก 200×200 มิลลิเมตรถึง 650×450 มิลลิเมตร, รับประกันการบูรณาการอย่างต่อเนื่องกับการออกแบบอุปกรณ์ที่มีอยู่.

3. การเจาะเจาะแม่นยํา ให้การติดตั้งแม่นยํา

โดยใช้ศูนย์เจาะ CNC ที่ติดตั้งเครื่องเจาะเคลือบเพชร เราสามารถทําได้อย่างต่อเนื่อง

• ความละเอียดความละเอียดของกระบอก: ±0.02 mm

• ความแม่นยําของตําแหน่งรู: ±0.03 mm

• ความหยาบคายของผนังรูหลังการเคลือบ: Ra ≤ 0.4 μm

• ขอบหลุมที่ไม่มีการบดและไม่มีชิป

ความแม่นยํานี้ทําให้ไม่ต้องใช้มือในการปรับปรุง

ผลการร่วมมือและความคิดเห็นจากลูกค้า

1การปรับปรุงการป้องกันความร้อนอย่างสําคัญ

หลังการทํางานต่อเนื่อง 3 เดือนในเตาหลอด PECVDผนังกวาร์ซที่เจาะไม่โปร่งได้ปรับอุณหภูมิลงประมาณ 45 °C ที่ผิวผนังภายนอกของเตาอบ เมื่อเทียบกับสารแก้วกวาร์ซโปร่งก่อนหน้านี้อายุการใช้งานขององค์ประกอบด้านนอก (O-ring, เซ็นเซอร์, เส้นทางการเย็น) ขยายจาก 4~6 สัปดาห์ เป็นมากกว่า 6 เดือน ลดความถี่ในการบํารุงรักษา 75%

2. ประสิทธิภาพการประกอบการดีขึ้นอย่างมาก

การออกแบบแบบหนึ่งชิ้นกําจัดขั้นตอนการผสม ส่วนการวางตําแหน่งรูระดับความแม่นยําสูงทําให้การติดตั้ง plug-and-play สามารถใช้ได้เวลาในการประกอบเตาอบต่อหน่วยลดลงจากประมาณ 2 ชั่วโมงเป็น 45 นาที.

3อายุการใช้งานของผลิตภัณฑ์เกินความคาดหวัง

ภายใต้สภาพการทํางานต่อเนื่อง 400 °C ชุดแรกของชิ้น 800 ได้รักษาการใช้งานเป็นเวลามากกว่า 12 เดือน โดยไม่มีการแตก, การปรับปรุง,หรือ delamination ด้านผิว ผิวที่ใช้งานยาวนานกว่าผลิตภัณฑ์ของผู้จําหน่ายเดิมถึงสี่เท่า.