เครื่องบรรทุกแผ่นควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง กลายมาเป็นอุปกรณ์ใช้หลักสําหรับเตาอบแอกูมิ
2026/07/10
เครื่องบรรจุแผ่นควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง (เรือควอตซ์) เป็นเครื่องติดตั้งที่จําเป็นภายในเตาแอกุ๊มครึ่งตัวนําสําหรับกระบวนการผสมผสาน, LPCVD, การออกซิเดชั่นและการกระจาย
ผลิตจากซิลิก้าหลอม 99.995% มีสารสกปรกโลหะที่ต่ํามาก เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของโอฟเฟอร์ ภายใต้ความว่างสูงผู้บรรทุกคงความมั่นคงในมิติภายใต้วงจรความร้อนที่ซ้ําซ้ํา 1000-1200 °C, ทนต่อการกระแทกทางความร้อนและการปรับปรุง
ผิวที่เรียบเนียนที่เคลือบได้ลดการหลั่งของอนุภาคและรอยขีดข่วนช่องเจาะแม่นยําทําให้แผ่นแผ่นระยะห่างเท่า ๆ กันเพื่อการไหลของความร้อนและก๊าซที่เท่าเทียมกัน, ปกติความหนาของฟิล์มและผลงานไฟฟ้า
ขนาดที่กําหนดเองสําหรับโวฟเฟอร์ขนาด 4/6/8/12 นิ้วมีให้เลือกเพื่อให้ตรงกับเตาอบหลอดว่างแนวราบและแนวตั้งการสนับสนุนการผลิตชิปจํานวนมาก, เซลล์แสงอาทิตย์ และวัสดุออฟโตอีเล็คทรอนิกส์
