ส่วนประกอบรองรับเรือควอตซ์บริสุทธิ์สูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ - Mia

Quartz carrier boats (also referred to as quartz jigs or wafer boats) are precision-engineered support fixtures fabricated from high-purity quartz materials through integral molding or precision welding processes, ประสบความสะอาด SiO2 ของ 99,99% หรือมากกว่า แตกต่างจากแผ่นเจาะควอตซ์ในตําแหน่งการทํางานเรือควอตซ์ถูกออกแบบมาโดยเฉพาะเจาะจงเพื่อให้การสนับสนุนที่มั่นคงและการจัดสรรที่แม่นยําสําหรับพื้นฐานที่มีโปรไฟล์บาง, โฟตวอลเตอิกซิลิคอนวาเฟอร์และแผ่นเคลือบออตติก ระหว่างวงจรการแปรรูปอุณหภูมิสูงเครื่องบรรทุกเหล่านี้มีให้เลือกในรูปแบบขนาดเต็ม ตั้งแต่ 2 นิ้วถึง 12 นิ้ว, ด้วยความอนุญาตในการสล็อต pitch ที่รักษาอยู่ใน ± 0.02 มิลลิเมตร พวกเขาใช้เป็นตัวนํากระบวนการที่จําเป็นในอุปกรณ์สําคัญเช่นเตาเผาแพร่, ท่อออกซิเดชั่น, LPCVD และ PECVDที่ความมั่นคงทางความร้อนและความแม่นยําของมิติเป็นสิ่งสําคัญ.

ผลประกอบการทางเทอร์โมไดนามิก และความมั่นคงทางโครงสร้าง

เรือบรรทุกควอตซ์ได้รับมรดกความแข็งแรงทางความร้อนจากซิลิก้าหลอมแสดงความสามารถในการทํางานระยะยาวในอุณหภูมิสูงถึง 1200 °C และความต้านทานสูงสุดระยะสั้นที่เกิน 1300 °C, มีสัมพันธ์การขยายความร้อนต่ําเพียง 5.5 × 10−7/ °Cความเหมาะสมทางอุณหภูมิที่โดดเด่นนี้รับประกันความบิดเบือนขนาดอย่างน้อย ภายใต้การหมุนเวียนทางอุณหภูมิที่รวดเร็วซ้ําๆโดยการรักษาเจอเมทรีสล็อตที่แม่นยํา ตลอดหลายพันวัฏจักรความร้อน เรือควอตซ์ป้องกันการคลื่นของแผ่นและการผูกพัน cross-waferโดยส่งผลโดยตรงต่อการปรับปรุงความเหมือนกันของชุดต่อชุดและผลผลิตกระบวนการโดยรวม

ความสะอาดของพื้นผิวและการควบคุมมลพิษ

สําหรับผลิตภัณฑ์เรือควอตซ์ระดับสูง กล่องการชําระที่เข้มงวด รวมถึงการล้างกรด, ล้างน้ําที่บริสุทธิ์มาก, และการเผาที่อุณหภูมิสูงและโลหะการเปลี่ยนแปลงอื่น ๆ) ไปยังปริมาณส่วนต่อพันล้าน (ppb)ช่องและบริเวณฟันได้รับการเคลือบไฟหรือควบคุม HF etching, ผลิตขอบกลม, ขอบไม่มี burr ด้วยความหยาบผิว (Ra) ≤ 0.4 μmนี่ทําให้การขีดข่วนทางกลและการสร้างอนุภาคน้อยลงในระหว่างการบรรทุก / ถอดขีดขีดสําหรับโน้ตครึ่งประจานที่ก้าวหน้า (≤ 28 nm และมากกว่า)ผู้จัดจําหน่ายคัดเลือกนําเสนอโมเดลที่ได้รับการรับรองผ่านการทดสอบการติดตั้งอนุภาคแบบไดนามิก (SPC) และตรงกับมาตรฐานการทํางานห้องสะอาดชั้น 1, รับประกันว่าการปนเปื้อนด้วยอนุภาคยังคงอยู่ในขั้นต่ําที่กําหนดในอุตสาหกรรม

ความสามารถในการแปรรูปแม่นยําและการปรับแต่ง

ผู้ผลิตชั้นนําในอุตสาหกรรมได้นําการควบคุมมิติในวงจรปิดไปใช้กับปารามิเตอร์สล็อตที่สําคัญทั้งหมดและ pitch ผ่านเครื่องวัดพิกัด (CMM) และระบบตรวจวิสัยทัศน์ความละเอียดสูงทุกชุดการผลิตต้องผ่านการตรวจสอบ 100% กับตัวชี้วัดการทํางานอย่างน้อย 15 ตัว พร้อมรายงานการรับรองมิติและความบริสุทธิ์ที่ครบถ้วนมากกว่าคลังสินค้าแบบธรรมดา, บริการการปรับปรุงเฉพาะเจาะจงเพื่อตอบสนองการใช้งานที่กําลังเกิด เช่นเซลล์ไฟฟ้าไฟฟ้า heterojunction (HJT) และเซลล์ครึ่งตัวนํารุ่นที่สาม (SiC, GaN)ที่รองรับโปรไฟล์ฟันที่ไม่ใช่มาตรฐาน, ระยะห่างที่แปรปรวนและโครงสร้างกระดูกซี่โครงที่เสริม

คลัสเตอร์อุตสาหกรรมและการมีตัวตนในโซ่จําหน่ายทั่วโลก

อุตสาหกรรมการแปรรูปควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงในจีนได้เติบโตเป็นระบบนิเวศที่บูรณาการตามแนวตั้งจังหวัด Jiangsu ภูมิภาคที่ได้รับการยอมรับสําหรับโซ่มูลค่าที่ครบครันตั้งแต่การทําความสะอาดคริสตัลดิบถึงองค์ประกอบที่สําเร็จรูปอย่างแม่นยําผู้ผลิตในท้องถิ่นดําเนินศูนย์การฉลาก CNC ที่อัตโนมัติเต็มที่ สถานีปั่นไฟออกซิฮิโดรเจน และสถานีบรรจุภัณฑ์ที่สะอาดประเภท 10,000ตัวอย่างเรือสแตนดาร์ตมักจะส่งภายใน 7~10 วันทําการสินค้าในขณะนี้ถูกนําไปใช้อย่างแพร่หลายในโรงงานหล่อหล่อหล่อแผ่น 12 นิ้ว สายการผลิตไฟฟ้าไฟฟ้าประสิทธิภาพสูงอุปกรณ์การผลิต MEMSและห้องปฏิบัติการวิจัยมหาวิทยาลัย โดยส่งออกเป็นประจําไปยังญี่ปุ่น เกาหลีใต้ เยอรมนี และประเทศเอเชียตะวันออกเฉียงใต้การสนับสนุนกระบวนการที่มีความน่าเชื่อถือสูง สําหรับอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําและไฟฟ้าไฟฟ้าทั่วโลก, เสริมความมั่นคงของกระบวนการและการผลิตที่ประหยัดในขนาดใหญ่