October 17, 2025
เรือควอตซ์เป็นอุปกรณ์รูปเรือชนิดหนึ่งที่ทำจากวัสดุควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งทนทานต่ออุณหภูมิสูงและการกัดกร่อน ด้วยคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่เป็นเอกลักษณ์ ทำให้มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในสาขาเทคโนโลยีขั้นสูงและอุตสาหกรรมต่างๆ
ลักษณะสำคัญ (คุณสมบัติหลัก)
1. ทนต่ออุณหภูมิสูง: สามารถทนต่ออุณหภูมิสูงกว่า 1000°C เหมาะสำหรับการแพร่กระจายของสารกึ่งตัวนำ ออกซิเดชัน และกระบวนการอื่นๆ
2. เฉื่อยทางเคมี: ทนทานต่อกรดแก่ (ยกเว้นกรดไฮโดรฟลูออริกและกรดฟอสฟอริก) และก๊าซกัดกร่อนสูง
3. สัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของมิติที่อุณหภูมิสูง ป้องกันไม่ให้แผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนหรือคริสตัลเสียรูป
4. ความบริสุทธิ์สูง: มีปริมาณสิ่งเจือปนของโลหะต่ำมาก (เช่น การควบคุมปริมาณไฮดรอกซิลอย่างเข้มงวด) ตรงตามข้อกำหนดของการใช้งานสารกึ่งตัวนำ
ต่อไปนี้คือสาขาการใช้งานหลักและคุณสมบัติทางเทคนิค:
หนึ่ง สารกึ่งตัวนำ:
1. การรองรับและการขนส่งแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน: ในระหว่างกระบวนการผลิตชิป เรือควอตซ์ใช้สำหรับยึดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน โดยยังคงความเสถียรในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง (เช่น การแพร่กระจาย ออกซิเดชัน และการอบอ่อน) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนหรือการเสียรูป ทำให้มั่นใจได้ถึงคุณภาพของชิป
2. กระบวนการกัดและแพร่กระจาย: ในฐานะที่เป็นส่วนประกอบสำคัญของห้องกัดหรือตัวยึดตัวอย่าง เรือควอตซ์ช่วยให้การแพร่กระจายขององค์ประกอบต่างๆ เช่น โบรอนและฟอสฟอรัสในหลอดเตาควอตซ์ที่อุณหภูมิประมาณ 1000°C ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อขนาดคุณสมบัติของวงจรรวม
สอง อุตสาหกรรมโฟโตโวลตาอิก
1. การผลิตแผงโซลาร์เซลล์: เรือควอตซ์ใช้สำหรับยึดวัสดุโฟโตโวลตาอิก สามารถทนต่อการบำบัดด้วยอุณหภูมิสูงและสารละลายกัดกร่อน ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการแปลงโฟโตอิเล็กทริกและอายุการใช้งานของเซลล์แสงอาทิตย์
2. กระบวนการแพร่กระจายแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน: เรือควอตซ์โฟโตโวลตาอิกชนิดใหม่ได้รับการออกแบบด้วยคุณสมบัติที่ปรับได้เพื่อรองรับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนขนาดต่างๆ และได้รับการปรับปรุงความสะอาดผ่านการทำความสะอาดแยกต่างหาก ซึ่งช่วยเพิ่มความสม่ำเสมอของการแพร่กระจาย
สาม วิศวกรรมเคมีและโลหะวิทยา
1. ภาชนะทำปฏิกิริยาที่ทนต่อการกัดกร่อน: ในฐานะที่เป็นซับในสำหรับถังปฏิกิริยาและเครื่องระเหย หรือเป็นอุปกรณ์ถ่ายโอน เรือควอตซ์สามารถทนต่ออุณหภูมิสูง แรงดันสูง และกรดและด่างแก่ ทำให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่เสถียรของอุปกรณ์เคมี
2. การบำบัดสารละลายที่เป็นกรด: ใช้กับอุปกรณ์เผาไหม้และระบายความร้อนสำหรับก๊าซที่ทนต่อกรดอุณหภูมิสูง รวมถึงการระเหยและการจัดเก็บสารละลายที่เป็นกรด
ข้อได้เปรียบหลักของเรือควอตซ์อยู่ที่ความทนทานต่ออุณหภูมิสูง (สูงถึงกว่า 1000℃) ความทนทานต่อการกัดกร่อน (สามารถทนต่อกรดแก่และด่างแก่ได้) และการส่งผ่านแสงสูง คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้ในสาขาการผลิตระดับไฮเอนด์ เช่น สารกึ่งตัวนำและโฟโตโวลตาอิก